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MR-DF2 고정밀 동적 가스 분배 장비
주요 특징
- HJ57-2017, HJ76-2017, HJ604-2017, HJ38-2017의 가스 분배 장비 관련 표준을 준수하고 여러 구성 요소의 가스 혼합 및 분배를 지원하며 ppb 수준,ppm 수준, 백분율 수준 등 농도를 분배할 수 있습니다. 표준가스;
- 이중 채널, 3채널, 다중 채널 및 기타 복합 가스 분배에 대한 고객 요구에 따라 맞춤화할 수 있습니다.
- 고정밀 스테인리스 스틸 질량 유량 컨트롤러, 스테인리스 스틸 퀵 플러그 OD6/4mm 가스 인터페이스, 고정밀 로터 유량계와 같은 고품질 구성 요소를 채택하여 높은 시스템 가스 분배 정확도와 신뢰할 수 있는 품질을 보장합니다.
- 대형 LCD 화면으로 시스템이 더욱 안정적으로 작동하고 작동이 더 쉽습니다.
- 캐비닛에 쉽게 통합할 수 있는 19인치 4U 섀시를 채택했습니다.
- 흐름 제어는 빠른 응답과 정확한 흐름 제어 기능을 갖춘 폐쇄 루프 퍼지 제어 기술을 채택합니다.
- 제로 공기압과 실린더 공기압을 실시간으로 모니터링하여 공기 공급 압력이 기기 요구 사항을 충족하는지 확인할 수 있습니다.
- 시스템의 가스 경로 청소 기능은 각 가스 분배의 정확성과 장비의 긴 수명을 보장할 수 있습니다.
- 이중 출력, 감지 장비의 입구 압력 균형을 자동으로 조정합니다.
- 가스 분배 장비에는 온도 보상 기능이 장착되어 있으므로 고객은 다양한 온도에서 장비 작동 데이터에 대한 온도의 영향을 고려할 필요가 없습니다.
- 예열 시간이 필요하지 않으며 기계를 켠 후 즉시 가스 분배를 시작할 수 있습니다.
- 발명 특허 및 소프트웨어 저작권을 포함한 독립적인 지적 재산권.
기술 지표
질량유량 컨트롤러 범위 | 사용자 요구에 따라 다양한 사양을 선택할 수 있습니다.(0-5000ml/min、5000-10000ml/min等) |
흐름 정확도 | 1.0% 이하 |
흐름 분포 불확실성 | 0.6% 이하 |
흐름 반복성 | 0.2% 이하 |
희석 인자 | 유속이 2000-3000ml/min일 때 희석 계수는 ≤50입니다. 유속이 5000-10000ml/min일 때 희석 계수는 ≤100입니다. |
하강 | 100:1/200:1(필요에 따라 맞춤 설정 가능) |
주된 이유 | 1000:1/4000:1(필요에 따라 맞춤 설정 가능) |
입력 압력 | 100Kpa~500Kpa(사용자 요구에 따라 맞춤 설정 가능) |
사용환경 | 온도：0~50℃, 습도：0-90%RH |
장비 압력 저항 | |
작동 압력차 범위 | 0.05Mpa~0.3Mpa |
작동 전원 공급 장치 | 110VAC~240VAC/50Hz |
치수 | (483×195×452)mm(맞춤형) |
무게 | 15Kg(외관에 따라 조절 가능) |