研究室
MR-DF2 高精度動的ガス分配計器
主な機能
- HJ57-2017、HJ76-2017、HJ604-2017、HJ38-2017のガス分配機器に関する関連規格に準拠し、複数成分のガス混合と分配をサポートし、ppbレベル、ppmレベル、パーセンテージレベルなどの濃度を分配できます。標準ガス;
- 顧客のニーズに応じて、デュアルチャネル、3チャネル、マルチチャネルなどの複合ガス分配をカスタマイズできます。
- 高精度ステンレス製マスフローコントローラー、ステンレス製クイックプラグOD6/4mmガスインターフェイス、高精度ローター流量計などの高品質コンポーネントを採用し、高いシステムガス分配精度と信頼性の高い品質を保証します。
- 大型LCDスクリーンにより、システムはより安定して動作し、操作が簡単になります。
- キャビネットへの組み込みが容易な19インチ4Uシャーシを採用。
- 流量制御は閉ループファジー制御技術を採用しており、高速応答と正確な流量制御を備えています。
- ゼロ空気圧とシリンダー空気圧をリアルタイムで監視して、空気供給圧力が機器の要件を満たしていることを確認できます。
- システム内のガス経路クリーニング機能により、各ガス分配の精度と機器の長寿命が保証されます。
- デュアル出力、検出装置の入口圧力のバランスを自動的に調整します。
- ガス分配機器には温度補償が装備されているため、お客様はさまざまな温度での機器の動作データに対する温度の影響を考慮する必要がありません。
- 予熱時間は不要で、機械の電源を入れたらすぐにガスの供給を開始できます。
- 発明特許やソフトウェア著作権などの独立した知的財産権。
テクニカル指標
マスフローコントローラーの範囲 | ユーザーニーズに合わせた豊富な仕様が選択可能（0-5000ml/min、5000-10000ml/min等） |
流量精度 | ≤1.0% |
流量分布の不確実性 | ≤0.6% |
流量再現性 | ≤0.2% |
希釈倍率 | 流量が 2000 ～ 3000 ml/min の場合、希釈係数は ≤ 50 です。流量が5000～10000ml/minの場合、希釈率は≤100です。 |
断る | 100:1/200:1（必要に応じてカスタマイズ可能） |
主な理由 | 1000:1/4000:1（ニーズに応じてカスタマイズ可能） |
入力圧力 | 100Kpa～500Kpa（ユーザーニーズに応じてカスタマイズ可能） |
使用環境 | 温度：0～50℃、湿度：0～90%RH |
装置耐圧性 | |
使用圧力差範囲 | 0.05Mpa～0.3Mpa |
動作電源 | AC110V～240V/50Hz |
寸法 | (483×195×452)mm（カスタマイズ可能） |
重さ | 15Kg（見た目に応じて調整可能） |